半导体“卡脖子”装备获突破,离子注入机实现全谱系产物国产化

2021-03-17 网络
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原问题:半导体“卡脖子”装备获突破,离子注入机实现全谱系产物国产化

出品 | 搜狐科技

编辑 | 梁昌均

3月17日新闻,中国电子科技团体有限公司(下称中国电科)今日对外宣布,该团体旗下装备子团体攻克系列“卡脖子”手艺,已乐成实现离子注入机全谱系产物国产化,包罗中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段笼罩至28nm。

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据领会,离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数目最多。它是由离子源获得所需要的离子,经由加速获得几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体质料、大规模集成电路和器件的离子注入,是集成电路制造前工序中的要害装备。2019年全球离子注入机市场规模实现18亿美元,同比增进17.65%。

凭证下游应用差异,离子注入机可以分为集成电路离子注入机和光伏离子注入机,其中在集成电路离子注入机方面,美国应用质料险些垄断了市场,占有了70%左右的市场份额,其次是美国的Axcelis(亚克士),占有了近20%的市场份额,其余市场大多有日本企业占有。

海内相关企业主要包罗中国电科旗下的北京中科信装备有限公司、凯世通等,距天下头部企业仍有一定的距离,离子注入机研发进度仍待加速。此次中国电科攻克离子注入机全谱系产物国产化,将为我国芯片制造产业链补上主要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。返回搜狐,查看更多

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