国产8英寸石墨烯晶圆实现小批量生产

2020-10-19 网络
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[科技新闻]国产8英寸石墨烯晶圆实现小批量生产

原标题:国产8英寸石墨烯晶圆完成小批量生产

昨天举办的2020中国国际石墨烯立异大会上,超平铜镍合金单晶晶圆、8英寸石墨烯单晶晶圆、锗基石墨烯晶圆等新材料表态,展现了我国在高质量石墨烯材料范畴的立异效果。在上海市石墨烯产业手艺功能型平台的推进下,科研团队完成了这些效果的小批量生产,产物尺寸和质量处于国际“领跑”职位。

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研发职员展现8英寸石墨烯单晶晶圆。赖鑫琳 摄研发职员展现8英寸石墨烯单晶晶圆。赖鑫琳 摄

2009年,中科院上海微体系所科研团队对准石墨烯单晶制备及其电子器件运用的症结困难,入手下手了攻关。“就像制作硅芯片的材料是一片片硅单晶晶圆,想用石墨烯等碳基二维材料完成电子器件集成,开启微电子手艺革新,就必须制备出大尺寸、高质量的石墨烯单晶晶圆。”中科院上海微体系所副研究员吴天如说。

可谓“十年磨一剑”,科研团队在国度科技严重专项、上海市科技立异行动计划项目支持下,对准高质量石墨烯制备与高性能器件手艺的制高点,针对晶圆级石墨烯单晶的可控制备,专注于石墨烯新功能开发与运用范畴拓展。从生长出单层到单晶,再到原子级平坦的大面积晶圆,上海科学家终究让石墨烯从用胶带剥离出几微米的样品,升级为能够规模化生产的8英寸晶圆。

为早日完成石墨烯晶圆量产,中科院上海微体系所客岁9月与上海市石墨烯功能型平台签订了协定,提供有本钱竞争力的产业运用。另外,原子层薄的石墨烯材料能够充任种种物理参数(化学成分、湿度、温度、应变等)的壮大传感器,这些单片感到平台与射频辨认天线连系运用,能用作长途可读探测器。

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